AmbosBomba de vácuo e compressorsão dispositivos para o processamento de gás, mas seus princípios de trabalho e escopo de aplicação são diferentes.
A principal função da bomba de vácuo é remover o gás da câmara de reação para reduzir a pressão no recipiente para obter um grau de vácuo predeterminado. O gás é extraído do espaço através do mecanismo de sucção e exaustão para formar um estado de vácuo. As bombas de vácuo são geralmente usadas em laboratórios, campos de produção e fabricação. Em Fabs de wafer, equipamentos de gravação, equipamentos de deposição, equipamentos de litografia EUV, equipamentos de implantação de íons, equipamentos de detecção e caracterização, etc. Todos precisam ser aspirados.
A função do compressor é inalar o gás e comprimi -lo, aumentar a pressão do gás, comprimir o gás em um volume menor e aumentar a densidade e a pressão do gás. Seu princípio de trabalho é comprimir o gás através da válvula de escape e, em seguida, colocar o gás comprimido em um tanque de gasolina ou em outro equipamento. Os compressores geralmente são usados nos campos de processamento e fabricação. O gás da CDA sobre o qual falamos é fornecido pelo compressor. O CDA é usado para controlar vários equipamentos e válvulas de automação. Para fabricação de semicondutores, o CDA deve ser muito puro e seco. A saída de ar pelo compressor precisa passar por um sofisticado sistema de filtragem para remover o óleo, a umidade e outras partículas para garantir que não haja contaminação da bolacha.
Quais são as categorias deBomba de vácuo e compressor?
Em equipamentos semicondutores, são usadas bombas secas e bombas moleculares. Uma bomba seca refere -se a uma bomba de vácuo que não usa nenhum líquido como meio de vedação ou resfriamento, evitando o problema da contaminação por vapor de óleo. É geralmente usado para a extração de vácuo áspera de equipamentos semicondutores. As bombas moleculares podem atingir níveis de vácuo extremamente altos. Bombas secas e bombas moleculares são frequentemente usadas em combinação em equipamentos semicondutores para atender às necessidades de diferentes níveis de vácuo.
Os compressores podem ser divididos em compressores de pistão, parafuso, centrífugo, rotativo, etc.
Devido aos diferentes projetos e princípios de trabalho da bomba de vácuo e do compressor, as bombas de vácuo geralmente não podem substituir os compressores. Embora as bombas de vácuo possam reduzir a pressão e a densidade dos gases, elas não podem comprimir gases em volumes menores e pressões mais altas. Além disso, devido ao desempenho limitado e às características de trabalho das bombas de vácuo, elas são mais adequadas para lidar com gases de baixa densidade e ambientes de baixa pressão.
Portanto, se o gás precisar ser comprimido em um volume menor e uma pressão mais alta, um compressor deve ser usado. Pelo contrário, se o gás precisar ser extraído e um estado de vácuo for formado, uma bomba de vácuo deve ser usada.
Embora ambosBomba de vácuo e compressorsão dispositivos usados para processar gás, existem grandes diferenças no princípio de design e trabalho. Embora a bomba de vácuo possa reduzir a pressão e a densidade do gás, ela não pode substituir o compressor, especialmente quando o gás precisa ser comprimido em um volume menor e maior pressão.
